AOI
검사기, Automatic Optical Inspection
LED, 반도체, 글라스, 필터 등 다양한 분야에 적용가능한 검사기로,
카메라 모듈 분야에서는 IR필터를 다이싱 한 후, 원판상태에서 필터표면을 검사하는데 이용된다.
사용자 편의와 생산성 향상을 위해 매거진을 적용하고 있다. 제진 설계, 고정밀 제어 기술, 고속 영상처리 기술,
최적화된 조명 기술, 고분해능 광학 기술로 다양한 결함과 5um의 검출력으로 짧은 검사시간을 구현하고 있다
Specification
Item |
Specification |
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Inspection |
Two stages |
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Loading/Unloading |
Auto |
Magazine |
Inspection |
Inspection Material |
IR Cut-off Filter/Blue Filter |
IR/AR |
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Defect Items |
Dig/Chipping/Scratch*/Stain* |
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Accuracy |
5.0 um |
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Resolution |
1.4 um/pixel |
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Inspection Region |
152 x 152 mm |
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Image Field Size |
11.4 mm |
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N.G Operation |
Marking |
Black pen marking |
N.G Map data |
N.G Map Data generated |
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Utility |
EFU Ion Blower |
ULPA @ 0.1um 9.9.999% Effect Dis. 100~2000mm |
Size (W x D x H) |
1,300 x 2,200 x 2,150mmm |
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Weight |
2,200 kg |
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Power |
220V/110V,Single Phase |
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Air supply |
4~5kgf/cm² |
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*Scratch/Stain : should be discussed with the customer |